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產品詳情
  • 產品名稱:大功率直流磁控濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MSH325- I-DC-SS
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
大功率直流磁控濺射鍍膜儀是一款高功率臺式磁控等離子濺射鍍膜機 ,帶有一個水冷2英寸靶頭,冷水機和可旋轉樣品架。大功率直流磁控濺射鍍膜儀設計用于涂覆直徑達4英寸的所有金屬薄膜, 包括Zn、Al、Ti和碳光膜,價格合理。包含一個Al 目標以供立即使用。
詳情介紹:

大功率直流磁控濺射鍍膜儀產品內容:

大功率直流磁控濺射鍍膜儀包含一個2英寸水冷靶頭和可旋轉樣品臺。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會因鍍膜溫度過高而變形,甚至損壞樣品;樣品臺可旋轉,可以使樣品邊旋轉邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設備外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設備使用。

大功率直流磁控濺射鍍膜儀技術規(guī)格:

項目

明細

產品型號

CY-MSH325- I-DC-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

4KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺

外形尺寸

φ150mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調轉速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ325mm,高度500mm

腔體材質

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)

設備尺寸

600mm × 650mm × 1280mm

設備重量

350kg


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