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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):帶過(guò)渡艙三靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本設(shè)備為三靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備
詳情介紹:
  本設(shè)備為三靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。
設(shè)備配有三支磁控靶,兩套直流電源,可用于鍍多層導(dǎo)電金屬膜。同時(shí)設(shè)備具有主腔室和過(guò)渡艙兩部分,過(guò)渡艙配有磁力推桿,兩個(gè)艙室之間裝有真空閘板閥;用戶可以在主腔室進(jìn)行濺射工作的同時(shí),在過(guò)渡艙裝填樣品,并進(jìn)行真空預(yù)抽,待主腔室濺射完成后即可將樣品通過(guò)磁力推桿推入主腔室的樣品臺(tái)。這樣的設(shè)計(jì)能夠減少主腔室抽放真空的次數(shù),不僅能有效節(jié)省時(shí)間,更能保證更好的本地真空,有效提高鍍膜質(zhì)量

 三靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS

供電電源

VAC 110, 60Hz

樣品臺(tái)

位置

下部,帶擋板

直徑尺寸

φ150mm

可調(diào)轉(zhuǎn)速

0-20rpm 可調(diào)

加熱溫度

RT~500oC

真空腔體

腔體尺寸

φ325xH510mm

腔體材料

304 不銹鋼

內(nèi)壁處理

電解拋光

密封方式

氟橡膠密封

觀察窗口

φ100mm(帶擋板)

磁控靶槍 

數(shù)量

3

擺頭角度

可調(diào)角度 -45~45 度

濺射方向

向下濺射

靶材平面

圓形平面靶

靶材直徑

2英寸

靶材厚度

*厚3mm

直流電源

數(shù)量

2臺(tái)

電源功率

0~500W

輸出電壓

0600V

*大輸出電流

1A

啟動(dòng)時(shí)間

1~10S

射頻電源

數(shù)量

1臺(tái)

電源功率

0~500W

射頻頻率

13.56MHz

匹配方式

自動(dòng)匹配

反射功率

≦100W

功率穩(wěn)定性

±0.1%

膜厚監(jiān)測(cè)儀

通道數(shù)

單通道

測(cè)量精度

0.1 ?

測(cè)量速度

100ms-1s/次,可設(shè)置測(cè)量范圍:500000?(鋁)

標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體

6MHz

適用晶片尺寸

Φ14mm

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

雙極旋片泵,抽速1.1L/s

渦輪分子泵

抽速600L/s

額定轉(zhuǎn)速:27000rpm

啟動(dòng)時(shí)間:≦5min

冷卻方式:水冷

真空度

5x10-4Pa

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì),測(cè)量范圍10-5Pa ~ 105 Pa

過(guò)渡倉(cāng)

腔體尺寸要適用于*大4英寸的晶圓

配備分子泵組:

前級(jí)泵:VRD-4,抽速1.1L/s

分子泵:日本TG60F,抽速60L/s

水冷機(jī)

冷卻水流速

10L/min

整機(jī)功率

0.1KW

冷卻功率

50W/℃

水箱容量

9L

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì):Ar氣,范圍0-200sccm

控制系統(tǒng)

CYKY自研專(zhuān)業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)



豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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