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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-CU
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)用于清潔所有類(lèi)型的晶體基板,以低成本實(shí)現(xiàn)更好的薄膜質(zhì)量。此外,緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)是去除和剝離光刻膠、改善表面潤(rùn)濕性、清潔SEM和TEM樣品、UV聚合物活化、組裝等的理想工具。
詳情介紹:

緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)采用不需要任何溶劑的干式清洗技術(shù),對(duì)清洗表面沒(méi)有損傷。采用大功率低壓石英汞燈,產(chǎn)生波長(zhǎng)185nm和254nm的紫外線,185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的臭氧分子O3,254nm的光同時(shí)激發(fā)清洗表面的有機(jī)分子,使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短,且同時(shí)也被254nm的光分解,因此可調(diào)節(jié)樣品臺(tái)到燈管的距離來(lái)優(yōu)化性能。

緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

輸入功率

AC 110V or AC 208~240V( 可選的)

紫外燈

?     固體金屬雙波汞燈

?     紫外燈功率:zui大55W。

?     波長(zhǎng):254nm和185nm

?     紫外燈使用壽命:2500小時(shí)

?     紫外線照射面積:100×100 mm(4”×4”)

?     峰值紫外線強(qiáng)度:4.6毫瓦/平方厘米。

腔室和樣品臺(tái)

?     外形尺寸:9 1/2”×7 7/8”×6”

?     抽屜尺寸:5 1/4”×5 1/4”×1”

?     抽屜到燈的距離:1 1/16“

?     從基座到燈的距離:5/16“

?     硼硅酸鹽玻璃基座:4”×4”×3/4”

?     18號(hào)鋼制底盤(pán)和蓋板,粉末涂層

?     總重量:9磅

合規(guī)

CE認(rèn)證

保證

一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室不保修)

環(huán)境要求

?    只在室內(nèi)使用;海拔高度可達(dá)5,562英尺;

?    溫度范圍41-104華氏度;

?    zui高相對(duì)濕度80%,高達(dá)87 華氏度線性降低至50%相對(duì)濕度,華氏104度;

?    主電源波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的10%;過(guò)壓類(lèi)別II;

?    污染等級(jí)2;臭氧水平(環(huán)境)測(cè)量<45 ppb。

Application

?    清潔SPT,AFM**和表面的分子污染

?    固化UV-粘合劑

?    SAM表面的紫外光圖案化

?    氧化PDMS

?    蝕刻,圖案,銳化

?    清潔MEMS器件

?    清潔襯底表面,如Si,Ge,GaAs和所有氧化物晶體襯底

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