實(shí)驗(yàn)室紫外線臭氧清洗機(jī)是一款緊湊型紫外線臭氧清潔機(jī)，是一種專門用于去除基材樣品表面各種污染物的系統(tǒng)。紫外臭氧清洗機(jī)是一種簡(jiǎn)單易用的干法工藝，是清潔表面的高效方法。清潔效果是通過用合適的燈照射基板表面引起的，在紫外光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生足夠的能量。它是霧化氧和高活性臭氧的光敏化氧化過程，直接到表面的UV輻射刺激反應(yīng)，生產(chǎn)揮發(fā)性烴產(chǎn)物，通過氧化去除納米厚度的碳?xì)浠衔飳?dǎo)致具有顯著潤濕性的超潔凈表面。這在玻璃和陶瓷表面的薄膜涂覆工藝之前非常重要。

實(shí)驗(yàn)室紫外線臭氧清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.從基材樣品表面去除各種污染物

2.使用干法工藝以高效方法清潔表面

3.在254nm至185nm之間的波線上產(chǎn)生能量

4.有氧氣入口，臭氧去除泵，液晶顯示單元

5.樣品溫度測(cè)量功能

6.用于指示清潔完成的蜂鳴器

7. 用于鎖定進(jìn)樣托盤的鎖定功能，以避免在操作過程中打開

實(shí)驗(yàn)室紫外線臭氧清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

輸入功率	AC 220V±10%, 50/60Hz
紫外燈	?    紫外燈功率: 120W Max. ?    波長: 254 nm and 185 nm  ?    zui大基材尺寸: 150×150 mm ( 6"×6")
腔室和樣品臺(tái)	?    托盤尺寸: 176mm×168mm ?    樣品輸送:滑動(dòng)
LCD顯示器	?    持續(xù)時(shí)間: 1 - 99 sec / min / hr ?    樣品溫度測(cè)量功能
合規(guī)	CE認(rèn)證
保證	一年有限保修，終身支持（耐熱玻璃室無保修）
應(yīng)用	?    消除SPT，AFM**和表面的分子污染 ?    固化UV-粘合劑 ?    SAM表面的紫外光圖案化 ?    氧化PDMS ?    蝕刻、圖案、銳化 ?    清潔MEMS器件 ?    清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底
易損零部件	更換燈

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